重生2004年重新开始第2075章 第二组的科研方向

林语靠在椅子上双手抱肩继续说道 “我刚刚所说的是第一组的科研方向现在我来说说第二组的科研方向。

” 在座的众人再次被震惊因为老板刚刚提出的方案都是闻所未闻的而此刻老板竟然还要提出新的方案这多少让他们有些难以置信但同时也对这个新老板佩服的五体投地。

“第二种叫做固态DUV(深紫外)激光。

” 刘成林和王乾伟两人的心砰砰的乱跳着因为现在的主流设计方向是干式光刻机老板刚刚提出了给沉浸式光刻机理念而现在又提出一种更加没有听说过的固态DUV(深紫外)激光这些概念都是谁想出来的呢？而老板又是怎么获得的。

以他们对市场现状的了解目前这种概念还从来没有出现过。

只听林语扫视了一眼众人说道 “别光顾着惊讶记下来。

” 刘成林和王乾伟低下了头准备好了记录。

“固态DUV(深紫外)激光可发射193nm的相干光。

” 刘成林就像是学生一样这次他没有直接发问而是举起了手。

“刘主任你说。

”林语看到后直接说道。

“老板什么是相干光？”刘成林询问道。

“具体的我也不是很清楚但是我可以给你们一个大概你们按照这种方式去做科研我相信你们” “老板您说。

” “可以采用氟化氙(ArF)准分子激光技术通过氩、氟气体的混合物在高压电场下生成不稳定分子释放出193nm波长的光子然后以高能量的短脉冲形式发射频率在8k-9kHz这是一种方式。

” “老板什么意思？还有另外一种方式吗？”刘成林已经被惊到了。

林语点了点头笑着说道 “还有一种是完全基于固态设计由制造的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光在通过两条不同的光学路径进行波长转换。

一路采用四次谐波转换将1030nm激光转换为258nm。

另一路径采用光学参数放大将1030nm激光转换为1553nm。

之后转换后的两路激光通过串级硼酸锂晶体混合生成193nm波长的激光光束。

” 林语喝了一口水然后继续说道 “这种光刻机可以大幅降低光刻系统的复杂度、体积减少对于稀有气体的依赖并大大降低能耗。

当然了不是说这种研究方向就一定是最佳的选择科研的路有很多种我们只有做了尝试才知道哪条路是正确的。

所以两组全都要拿出十二分精神努力的做科研争取研发成功。

” 刘成林和和王乾伟皱着眉记录着他们在脑海中反复想着老板说的这两种方向虽然没有实践但是他们觉得全都是可行的。

尤其老板说的这么详细虽然只是大概的研究方向但是连具体的数据都有。

他们不清楚老板是怎么知道的但是他们知道在老板的背后肯定有一个很专业的团队不然是说不出这么详细的。

此刻他们激动的竟然有些颤抖因为他们做了二十多年的研究走了不知多少弯路尤其现在想要跟随光刻机巨头的步伐做科研而此刻他们找到了新的方向能够弯道超车的机会而且不是一条。

他们知道扬眉吐气的日子不远了。

“老板放心我们两组全都会努力的。

” “嗯。

”林语点了点头“我相信你们在这里我再说一下如果在做研究的时候发现新的方案也是可以另外成立一个小组进行研究的当然了这些小组也属于你们两组的分支机构归属于你们管理只要提出方案探讨后觉得合理就可以研究我不怕你们多做尝试哪怕失败了也能通过走错的路学到新的知识也能验证一些正确的方案。

所以大胆的去做我这边不会因为分出去的科研而责怪你们的。

” 刘成林和和王乾伟听到后还是很感动的因为老板不但给他们大力的支持而且还很有宽容心还给他们很多尝错的机会这样的老板真的是太少见了。

他们已经暗自下定决心一定要将光刻机研究成功因为这可能是他们唯一成功的机会了如果失败这辈子不可能再遇到这样的老板而且也不会拿到这么多科研经费以及招募人才的钱了。

“老......老板你说的这些都......都是怎么知道的？”刘成林激动的说道。

“怎么知道的你就不用管了你们按照我说的去做科研你们两个研究着怎么分组怎么确定研究方向然后进行研究我提供无限的资金支持就是想要在最短的时间内能够看到成品所以你们要加把劲努力。

” “老板放心您都把方向给我们了如果我们还不能拿出成果那肯定是对不起您的。

” “时间就是金钱你们记住国际竞争是很激烈的尤其我们的起步还比较晚但是我可以明确的告诉你们第一台沉浸式光刻机在06年就会推出来所以你们还有很长的路要走。

” 刘成林被惊到了他显然没想到最快的沉浸式光刻机竟然在06年被研制成功看来有些公司从02年开始就着手做沉浸式光刻机的研发了因为那时候发明沉浸式深紫光的专家到处游说让人接受他的技术显然是有企业相信他并且付诸行动的。

刘成林很是好奇老板是怎么知道有公司研究出了沉浸式光刻机难不成他在那家公司有内应？这是有可能的毕竟老板刚刚说的技术也可能是内应告诉他的。

想到这刘成林眉头皱了一下因为哪怕从老板那得知了沉浸式光刻机可能会成功过但是他们从现在开始研究肯定也是追赶不上的毕竟对方可能从02年就开始研发了。

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